喜报
近日,华工激光申报的专利“一种激光光束像散补偿方法及激光加工系统”荣获首届中部六省高价值专利大赛一等奖!
首届中部六省高价值专利大赛由湖南、山西、安徽、江西、河南、湖北省知识产权局联合主办,旨在引导创新主体专注关键核心技术领域创新,通过挖掘和发现一批具有高价值潜力的专利,为中部高质量发展塑造新优势、注入新动能。华工激光送审的“一种激光光束像散补偿方法及激光加工系统”从来自六省多项重点领域的千余项先进专利中脱颖而出,荣获大赛一等奖。
领先技术
随着科技的不断发展,集成化、小型化、精细化逐渐成为半导体加工行业的发展方向,这对激光加工工艺提出了更高的要求。
受光学元件自身缺陷等因素的影响,在激光离焦加工过程中会出现不同轴向成像差异的像散问题,使得不同方向划线时的线宽和深度不一致,严重影响激光加工质量,尤其对半导体芯片的加工效率与良率造成极大影响。
为助力半导体行业降本增效,华工激光聚焦超快激光应用,大力投入技术研发,创新性地提出了“一种激光光束像散补偿方法及激光加工系统”,并成功申请专利。
该专利采用自创的像散补偿装置和调节方法,灵活解决光束像散问题,显著优化激光束质量,在半导体精细加工过程中能极大程度减少芯片损失,大幅提升加工效果与产品生产良率。该专利已在华工激光全系列自动微纳精密加工设备中全面应用,覆盖半导体精密器件激光加工全制程,取得了较好的社会效益,市场满意度高。
标杆品牌
本专利是“面向电子行业超薄材料超快激光加工装备研发与产业化”项目的核心成果之一,项目成果受到多次获得央视新闻、新华社、中国经济网、长江日报等新闻媒体报道,曾获2021年度湖北省科学技术进步奖二等奖等重要奖项,产生了广泛的积极影响:
从根本上提升了激光加工的工艺效果与生产良率,为客户实现降本增效,带来更卓越的加工效果;
引领半导体精密零件加工工艺技术升级,推动半导体行业向高质量发展方向迈进;
为整个先进激光加工行业带来更多技术可能性,持续带动我国激光行业制造能力进步,为科技的不断发展创造有力的支撑。
未来,华工激光将继续围绕产业链部署创新链,打造协同创新体系,通过知识产权支撑事业群及各产品线的创新发展,聚合研发能力,加快关键核心技术创新应用转化落地,实现研发一体化,从而带动国内激光产业链上下游共同发展,助推“激光+智能化”与先进制造业深度融合,助推壮大产业发展新动能,实现转型升级高质量发展。
关于华工激光
华工激光是中国激光工业化应用的开创者、引领者,全球激光加工解决方案权威提供商。我们全面布局激光智能装备、量测与自动化产线、智慧工厂建设,为智能制造提供整体解决方案。
我们深刻把握制造业发展趋势,不断丰富产品和解决方案,坚持探索自动化、信息化、智能化与制造业的融合,为各行业提供包括全功率系列的激光切割系统、激光焊接系统、激光打标系列、激光毛化成套设备、激光热处理系统、激光打孔机、激光器及各类配套器件、激光加工专用设备及等离子切割设备,及自动化产线、智慧工厂建设整体方案。