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采用白光共焦光学系统，搭配自主研发的平晶精度补偿系统，通过符合SEMI标准的厚度、翘曲度计量方法，对碳化硅晶圆的表面三维形貌进行高精度测量。
在传统的单面测量(单测量头)和双面测量(双测量头)的基础上，升级到三方传感器，对Z轴方向测量误差的跳动，进行补偿
自主研发的平晶稳定补偿技术，通过减少机台震动降低运动过程中对测量精度的影响
标配高速十字线测量方案，同时可以选配高解析度测量模式，自定义多数据采集输出mapping图
