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全自动晶圆改质切割装备LUSD3310

通过多组高精度CCD视觉相机定位整片晶圆,实现对6-8英尺不同晶粒规格晶圆自动识别和定位,结合定制超快激光和精密运动平台相对运动,实现对整片晶圆的内部改质(隐切),再通过晶圆专用裂片机,实现对晶圆的全切和晶片的分离。


  • 加工速度
    ≥500mm/s
  • 加工精度
    ≤±3μm
  • 加工材料
    导电型、半绝缘型SiC
产品介绍

通过自主开发的动态焦点补偿模块,配合高精密气浮直线运动平台,实现高精度、高一致性晶圆加工,加工质量达到行业领先水平

配置标准设计隐切外光路黑盒子,稳定传送激光光束,稳定输出激光能量,加工稳定性好

自主开发切割和视觉软件,提供定制化功能模块,定制化程度高,满足行业需求


产品优势
  • 01
    设备通过SEMI半导体行业认证
  • 02
    配置半导体自动晶圆搬运系统及检测系统
  • 03
    搭载高精度动态焦点补偿系统(DFT)及自动对焦系统
  • 04
    定制化视觉及切割软件模块,适应不同类型晶圆
样品展示
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全自动晶圆改质切割装备LUSD3310
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